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承建時間：2013年9月-2014年3月
建筑面積：5.7萬平方米
潔凈面積：6000平方米
潔凈級別：十級~千級
承包范圍：本項目為2、3層（6英寸）和4層（實驗室），B1、1層預留（8英寸）；專業內容：內裝、管道、電氣、自控、暖通
項目亮點：填補研發機構與規模代工廠之間的空白，滿足MEMS相關中小企業工藝研發和小批量生產的需求，促進MEMS中小企業成長和產業快速提升。
項目高清效果圖（鳥瞰圖）
